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ZnO 压敏电阻的微观结构分析发现,形成的四个主要 成分是 ZnO、尖晶石、焦绿石和一些富 Bi 相(图 3)。图 中也指明了组分存在的部位,还存在一些用现有技术尚不 易检测出来的其它次要相。 ZnO 压敏电阻的典型晶粒尺寸在15和20μm 之间, 并且也总是伴有双晶。SiO2的存在抑制晶粒生长,而 TiO2 和 BaO 则加速晶粒长大。尖晶石和焦绿石相对晶粒长大有 抑制作用。焦绿石相在低温时起作用,而尖晶石相在高温 时有利。当用盐酸浸蚀晶粒时,中间相呈现出在电性上绝 缘的三维网络。 烧结形成的 ZnO 晶粒是 ZnO 压敏电阻的基本构成单纯 ZnO 是具有线性 I-U 特性的非化学计量 n 型半导 体。进入 ZnO 中的各种添加物使其具有非线性。这些氧 化物中主要是 Bi 2O3。这些氧化物的引入,在晶粒和晶粒 边界处形成原子缺陷,施主或类施主缺陷支配着耗尽层, 而受主和类受主缺陷支配着晶粒边界状态。相关的缺陷类 型是锌空位(V Zn'、V Zn'')、氧空位(V o 、V o )、填隙锌
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扫描电子显微镜(简称扫描电镜,SEM)是继透射电镜之后发展起来的一种电镜。与透射电镜的成像方式不同,扫描电镜是用聚焦电子束在样品表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子(被入射电子轰击出来的样品核外电子)、背散射电子(被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子)或吸收电子。其中二次电子为主要的成像信号。现以二次电子像的成像过程来说明扫描电镜的工作原理。由电子枪发射的能量为5-35KeV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成
具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其他物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。
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